潔凈度檢測(cè)-塵埃粒子測(cè)試

潔凈度檢測(cè)-塵埃粒子測(cè)試 根據(jù)ISO 14644-1：2015潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

®潔凈度檢測(cè)-塵埃粒子測(cè)試儀器標(biāo)準(zhǔn)

光散射塵埃粒子計(jì)數(shù)器、光散射離散塵埃粒子計(jì)數(shù)器

儀器功能有：計(jì)數(shù)、測(cè)量單個(gè)塵埃粒子粒徑并以當(dāng)量光學(xué)直徑報(bào)告粒徑數(shù)據(jù)

®分級(jí) ：據(jù)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)評(píng)估潔凈室或潔凈區(qū)潔凈度水平的方法。

®占用狀態(tài)

應(yīng)在三種占用狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)和動(dòng)態(tài)，）的一種或更多情況下，根據(jù)潔凈室或潔凈區(qū)空氣里粒子濃度來(lái)劃分空氣潔凈度等級(jí)。

空態(tài)：潔凈室或潔凈區(qū)已完工，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)設(shè)備、設(shè)施、材料或人員在場(chǎng)。

靜態(tài)：潔凈室或潔凈區(qū)已完工，設(shè)備已經(jīng)安裝好，并以約定方式運(yùn)行，但沒(méi)有人員在場(chǎng)。

動(dòng)態(tài) ：潔凈室或潔凈區(qū)以約定條件發(fā)揮作用，設(shè)備以規(guī)定方式運(yùn)行，有規(guī)定數(shù)量的人員在場(chǎng)

®粒子粒徑

當(dāng)一個(gè)或超過(guò)一個(gè)的粒徑閾值（下限）處于從≥0,1μm到≥5μm的范圍，可用來(lái)判定根據(jù)粒子濃度得出的空氣潔凈度分級(jí)。

備注：當(dāng)設(shè)備安裝匹配完成，可用于持續(xù)或頻繁監(jiān)控空氣潔凈度（根據(jù)粒子濃度來(lái)分級(jí)）和其他性能參數(shù)，分級(jí)的時(shí)間間隔可以延長(zhǎng)，監(jiān)控結(jié)果需保持在規(guī)定限度內(nèi)。

®1測(cè)試

附錄A（標(biāo)準(zhǔn)）給出了相符性認(rèn)證的基準(zhǔn)測(cè)試方法，也可以規(guī)定其它至少有可比性的替代方法和/或儀器。如果沒(méi)有就替代方法作出規(guī)定或達(dá)成一致意見(jiàn)，則應(yīng)使用基準(zhǔn)方法。

執(zhí)行有關(guān)相符性認(rèn)證的測(cè)試，應(yīng)使用測(cè)試時(shí)符合校準(zhǔn)要求的儀器。

®2塵埃粒子濃度評(píng)估

當(dāng)根據(jù)附錄A完成測(cè)試后，對(duì)于被考慮粒徑的十進(jìn)制中間等級(jí)，每個(gè)取樣點(diǎn)的單次取樣量的粒子濃度（以每立方米粒子數(shù)量來(lái)表示）不可超過(guò)表格1或表格E.1給出的濃度限值。如果在某個(gè)取樣點(diǎn)多次獲得單次取樣量，其平均其濃度且平均濃度不可超過(guò)表格1或表格E.1給出的濃度限值。中間粒子粒徑來(lái)源于公式E.1。

必須使用相同方法來(lái)測(cè)量所有被考慮粒徑的粒子濃度，以判定是否與ISO等級(jí)一致。

®ISO等級(jí)序數(shù)

根據(jù)粒子濃度劃分空氣潔凈度的級(jí)別應(yīng)以ISO等級(jí)序數(shù)N來(lái)表示。表格1規(guī)定了每種被考慮粒徑的最大允許粒子濃度。

在表格1里，不同閾值粒徑的粒子數(shù)量濃度不能反應(yīng)空氣里的實(shí)際粒子粒徑和數(shù)量分布，也不可作為分級(jí)的wei yi標(biāo)準(zhǔn)。分級(jí)計(jì)算舉例收錄在附錄B里。

GB/T 25915.1-2021 /ISO 14644-1：2015

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

®3測(cè)試報(bào)告

各潔凈室或潔凈區(qū)的測(cè)試結(jié)果均應(yīng)記錄，應(yīng)以綜合報(bào)告形式提交，并說(shuō)明是否符合有規(guī)定命名的空氣潔凈度等級(jí)（以粒子濃度劃分）。

測(cè)試報(bào)告應(yīng)包含：

a)測(cè)試組織的名稱(chēng)、地址和進(jìn)行測(cè)試的日期；

b)ISO 14644本部分的出版編號(hào)和年代，例如ISO 14644-1:2015；

c)明確標(biāo)明被測(cè)潔凈室或潔凈區(qū)的實(shí)際位置（必要時(shí)包括臨近的參照區(qū)）及所有取樣點(diǎn)坐標(biāo)的具體標(biāo)注（以圖表方式表達(dá)或有幫助）；

d)潔凈室或潔凈區(qū)的規(guī)定命名準(zhǔn)則，包括ISO等級(jí)序數(shù)、相關(guān)的占用狀態(tài)和被考慮粒徑；

e)所使用測(cè)試方法的詳細(xì)說(shuō)明，包括與測(cè)試有關(guān)的或偏離測(cè)試方法的特殊條件，測(cè)試儀器銘牌及其目前的校準(zhǔn)證書(shū)；

f)測(cè)試結(jié)果，包含所有取樣點(diǎn)的粒子濃度數(shù)據(jù)。

如果大粒子濃度已按附錄C里的說(shuō)明進(jìn)行了量化，相關(guān)信息應(yīng)包含在測(cè)試報(bào)告中。

ISO14644.2-2015根據(jù)粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

附錄A根據(jù)粒子濃度對(duì)空氣潔凈度進(jìn)行分級(jí)的基準(zhǔn)方法

®原則 ：在zhi定取樣點(diǎn)，離散粒子計(jì)數(shù)器可用于判定大于或等于規(guī)定粒徑的塵埃粒子濃度。

®儀器要求：粒子計(jì)數(shù)器：

該儀器具有顯示或記錄空氣里離散粒子的總數(shù)和粒徑的能力以及粒徑鑒別能力，可檢測(cè)到被考慮級(jí)別之適當(dāng)粒徑范圍內(nèi)的總粒子濃度。

備注：光散射（離散）塵埃粒子計(jì)數(shù)器（LSAPC）常常用來(lái)劃分空氣潔凈度等級(jí)。

®儀器校準(zhǔn)

粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)有有效的校準(zhǔn)證：校準(zhǔn)的頻率和方法應(yīng)按ISO 21501-4所述的現(xiàn)行認(rèn)可規(guī)定來(lái)執(zhí)行。

備注：針對(duì)ISO 21501-4里要求的所有測(cè)試，有些粒子計(jì)數(shù)器不能校正。如果是這種情況，在測(cè)試報(bào)告里記錄下使用該計(jì)數(shù)器的決定。

®粒子計(jì)數(shù)測(cè)試的準(zhǔn)備工作

按照性能指標(biāo)，測(cè)試前應(yīng)確認(rèn)潔凈室或潔凈區(qū)的所有相關(guān)方面作為一個(gè)整體，是完整的、功能正常的。

當(dāng)執(zhí)行潔凈室性能的配套測(cè)試時(shí)，應(yīng)當(dāng)注意順序的選擇。ISO 14644-3之附錄A提供了一份檢查清單。

®確定取樣點(diǎn)

取樣點(diǎn)數(shù)量的來(lái)源

取樣點(diǎn)的最小數(shù)量NL來(lái)源于表格A.1。表格A.1提供了待分級(jí)的各潔凈室或潔凈區(qū)的取樣點(diǎn)數(shù)量，并且規(guī)定了至少95%置信度的情況下，至少90%的潔凈室或潔凈區(qū)不會(huì)超過(guò)等級(jí)限值。

表格1 – 有關(guān)潔凈室區(qū)域的取樣點(diǎn)

®取樣點(diǎn)的定位

為了定位取樣點(diǎn)：

使用表格A.1里的取樣點(diǎn)最小數(shù)量NL；

然后將整個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)劃分為NL個(gè)等面積區(qū)塊；

每個(gè)區(qū)塊都選定一個(gè)可代表該區(qū)塊特征的取樣點(diǎn)；

在每個(gè)取樣點(diǎn)，將粒子計(jì)數(shù)器采樣探頭置于工作活動(dòng)的平面或另一個(gè)zhi定點(diǎn)。

對(duì)于被視作關(guān)鍵點(diǎn)的地方，可以選定額外的取樣點(diǎn)。他們的數(shù)量和位置也應(yīng)經(jīng)用戶(hù)和供應(yīng)商協(xié)商并具體化。

可以將額外區(qū)塊和相關(guān)取樣點(diǎn)細(xì)分成等面積區(qū)塊。

對(duì)于存在非單向氣流的潔凈室或潔凈區(qū)，如果他們直接位于非擴(kuò)散空氣供應(yīng)源之下，取樣點(diǎn)將不具有代表性。

大面積潔凈室或潔凈區(qū)的取樣點(diǎn)

當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)的面積大于1,000m2的時(shí)候，使用公式(A.1)來(lái)判定要求的取樣點(diǎn)最小數(shù)量：

NL=27×

其中：NL代表待評(píng)估的取樣點(diǎn)最小數(shù)量，上舍入鄰近整數(shù)；

A代表潔凈室的面積（m2）。

®5確定各取樣點(diǎn)的單次取樣量和取樣時(shí)間

如果最大被選擇粒徑的粒子濃度達(dá)到zhi定ISO等級(jí)限值，需在各取樣點(diǎn)采集足夠的空氣量，保證能檢測(cè)出至少20個(gè)粒子。

Vs代表取樣點(diǎn)的單次取樣量，可由公式(A.2)確定：

Vs={20/ Cn.m}×1000

其中：Vs代表取樣點(diǎn)的單次zui低取樣量，用升表示(附錄D的情況除外)；

Cn,m代表相關(guān)等級(jí)規(guī)定的最大被考慮粒徑之等級(jí)限值（每立方米的粒子數(shù)量）；

20代表當(dāng)粒子濃度處于該等級(jí)限值時(shí)，可被檢測(cè)到的粒子數(shù)。

每個(gè)取樣點(diǎn)的取樣量至少為2升，取樣時(shí)間最少為1分鐘。各取樣點(diǎn)的單次取樣量應(yīng)相同。

Vs值很大時(shí)，可能需要大量的取樣時(shí)間。利用可供選擇的順序采樣法（見(jiàn)附錄D），既可減少要求的取樣量，又可減少取樣需要的時(shí)間。

取樣程序A.5.1

按照廠家說(shuō)明書(shū)（包括自?xún)魰r(shí)間檢查），設(shè)置粒子計(jì)數(shù)器（見(jiàn)A.2）

設(shè)置采樣量計(jì)算采樣周期/時(shí)間

Vs={20/ Cn.m}×1000

5.2采樣探頭的位置應(yīng)插入空氣流。若被取樣的氣流方向是不受控的或不可預(yù)計(jì)的（例如非單向流），采樣探頭的入口應(yīng)垂直指向上方。

5.3確保在取樣前建立一個(gè)處于正常情況下的被選擇的占用狀態(tài)。

5.4每個(gè)取樣點(diǎn)，每份樣品按A.4.4確定的最小空氣量取樣。

A.5.5如果在一個(gè)取樣點(diǎn)因某種可辨認(rèn)的異常情況導(dǎo)致計(jì)數(shù)超標(biāo)，可以舍棄該次計(jì)數(shù)并在測(cè)試報(bào)告上作出相應(yīng)記錄，并且重新取樣。

A.5.6如果一個(gè)取樣點(diǎn)的計(jì)數(shù)超標(biāo)的原因是潔凈室或設(shè)備的技術(shù)故障，應(yīng)分析原因并采取矯正措施， 在該取樣失敗的點(diǎn)、周?chē)o鄰的點(diǎn)和其他所有受影響的點(diǎn)安排重新測(cè)試。

結(jié)果處理

結(jié)果記錄

當(dāng)每個(gè)被考慮粒徑的每次取樣量與空氣潔凈度的相關(guān)ISO等級(jí)匹配時(shí)，每次樣品測(cè)量結(jié)果將記錄粒子數(shù)量。

`xi ={（xi.1+ xi.2+….. xi.n）/n}

備注：對(duì)于粒子計(jì)數(shù)模式為濃度計(jì)算的，人工評(píng)估是沒(méi)有必要的。

各取樣點(diǎn)的平均粒子濃度

當(dāng)一個(gè)取樣點(diǎn)發(fā)生兩次或多次取樣，根據(jù)公式，以單份樣品粒子濃度的每個(gè)被考慮粒徑來(lái)

Ci={(`xi×1000)/ Vt}

其中：Ci代表每立方米的粒子濃度；

`xi代表在取樣點(diǎn)i的平均粒子數(shù)，i可代表任何取樣點(diǎn)；

Vt代表被選擇的單次取樣量（升）。

結(jié)果的解釋說(shuō)明

分級(jí)要求

如果各取樣點(diǎn)測(cè)量的平均粒子濃度（每立方米的粒子數(shù)）不超過(guò)表格1里規(guī)定的濃度限值， 潔凈室或潔凈區(qū)被視為已達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度分級(jí)要求。

如果涉及到附錄E里規(guī)定的中間等級(jí)或粒徑，可使用表格(E.1)或公式E.1里的適當(dāng)限值。

超標(biāo)結(jié)果

如發(fā)生計(jì)數(shù)超標(biāo)，應(yīng)安排調(diào)查。調(diào)查結(jié)果和矯正措施應(yīng)在測(cè)試報(bào)告