ISO14644-1：2015

根據(jù)顆粒濃度對空氣潔凈度

進行分類

提供了按顆粒濃度對空氣潔凈度等級和大顆粒進行測試的程序和設備

ISO14644-2：2015

通過顆粒濃度監(jiān)測提供與空

氣潔凈度相關(guān)的潔凈室性能證據(jù)

規(guī)定了監(jiān)控和定期測試潔凈室或潔凈區(qū)的要求，以證明其待續(xù)符合ISO14644-l標準。

ISO14644-3：2019

檢測方法

規(guī)定了測量潔凈室、潔凈區(qū)或相關(guān)受控環(huán)境(包括分離裝置和受控區(qū)，以及所有相關(guān)結(jié)構(gòu)、空氣處

理系統(tǒng)、服務和公用設施)性能的適當測試方法．

ISO14644-4：2022

設計、建造和啟動

凈室的設計、建造和啟動提供了指導，包括新的和正在改造或翻新的潔凈室。

ISO14644-5：2004

運行

規(guī)定了潔凈室運行的基本要求。

ISO14644-6：2007

詞匯

術(shù)語和定義

ISO14644-7：2004

隔離裝置（潔凈風罩、手套

箱、隔離器、彶環(huán)境）

規(guī)定了隔離裝置的設計、建造、安裝測試和批準的要求．

ISO14644-8：2022

根據(jù)化學濃度對空氣潔凈度

進行分類(ACC)

涵蓋了潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中空氣傳播的分子污染物(ACC)的分類。

ISO14644-9：2022

表面顆粒潔凈度的分類

根據(jù)潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中的顆粒濃度，確定固體表面潔凈度等級分類。

ISO14644-1O：2022

根據(jù)化學濃度對表面沽凈度

進行分類

根據(jù)化學化合物或元素的存在，定義潔凈室表面浩凈度的分類系統(tǒng)。

ISO14644-12：2018

用納米級粒子濃度監(jiān)測空氣

潔凈度的規(guī)范

提供了按納米級顆粒濃度監(jiān)測空氣潔凈度的規(guī)范

ISO14644-13：2017

根據(jù)顆粒和化學分類，清潔

表面以達到規(guī)定潔凈度水平

將潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室材料表面消潔到規(guī)定的程度。

ISO14644-14：2016

通過空氣粒子濃度評估設備

的適用性

規(guī)定了評估設備在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中適用性的方法。

ISO14644-15：2017

通過空氣中化學物質(zhì)濃度評估設備和材料的適用性

為評估預計在潔凈室和相關(guān)受控環(huán)境中使用的設備和材料的化學氣相潔凈度．提供要求和指南。

ISO14644-l6：2019

潔凈室和隔離裝置的能效

為優(yōu)化新的和現(xiàn)有的潔凈室、潔凈區(qū)和隔離裝置的能源使用和保持能源效率，提供指導和建議。

ISO14644- 17:2021

粒子沉積速率應用

污染控制程序一部分，對潔凈室一個或多個易損表面上顆粒沉積率(PDR)測量結(jié)果的解釋和應用提供指導．

ISO/DIS 14644-   18

耗材適用性評估

根據(jù)產(chǎn)品和工藝要求、潔凈度屬性和功能性能屬性，為評估個人和非個入消耗品在潔凈室、潔凈區(qū)或受控區(qū)的適當使用提供指導．